Sistem bantalan udara granit digunakake sacara wiyar ingpresisi ultraplatform gerakan kanggo manufaktur semikonduktor, penyelarasan optik, lan metrologi skala nanometer.
Sistem iki ngilangi kontak mekanik kanthi nggunakake film udara bertekanan tipis, sing ngasilake gerakan gesekan meh nol.
Prinsip Bantalan Udara
Bantalan udara beroperasi kanthi nglebokake udara sing dikompres ing antarane rong permukaan, mbentuk film udara 2-20 μm.
Iki ngilangi:
- Gesekan mekanik
- Nganggo
- Prilaku kepleset
Sistem iki gumantung marang dinamika film fluida lan aliran laminar sing stabil.
Perané Granit
Granit nyedhiyakake:
- Stabilitas struktural
- Panyegahan hanyutan termal
- Redaman getaran
Iki minangka basis referensi mekanik kanggo sistem gerakan.
Komponen Sistem
- Dasar granit
- Bantalan bantalan udara
- Sistem pasokan udara
- Encoder presisi
- Sistem kontrol gerakan
Karakteristik Kinerja
Kinerja khas kalebu:
- Akurasi posisi sub-mikron
- Kelurusan sing dhuwur sajrone perjalanan dawa
- Ora ana reaksi mekanik
Sumber kesalahan utama kalebu ketidakstabilan tekanan udara, hanyutan termal, lan kesalahan encoder.
Aplikasi
- Inspeksi wafer semikonduktor
- Sistem litografi
- Platform penyelarasan optik
- Mesin metrologi kelas atas
Pitakonan sing Sering Ditakoni
Apa bantalan udara bisa aus?
Ora ana kontak mekanik sing ngilangi keausan.
Kenapa nganggo granit?
Kanggo stabilitas lan redaman getaran.
Apa sing mbatesi akurasi?
Stabilitas udara lan efek termal.
Apa dheweke isa nggawa beban abot?
Ya, gumantung saka desain.
Wektu kiriman: 03-Jul-2026