Ing pranala utama manufaktur chip - pemindaian wafer, akurasi peralatan nemtokake kualitas chip. Minangka komponen penting saka peralatan, masalah ekspansi termal saka basis mesin granit wis narik kawigaten akeh.
Koefisien ekspansi termal granit biasane antara 4 lan 8 × 10⁻⁶/℃, sing luwih murah tinimbang logam lan marmer. Iki tegese nalika suhu owah, ukurane owah relatif sithik. Nanging, kudu dicathet yen ekspansi termal sing kurang ora ateges ora ana ekspansi termal. Ing fluktuasi suhu sing ekstrem, sanajan ekspansi sing paling sithik bisa mengaruhi akurasi nanoskala pemindaian wafer.
Sajrone proses pemindaian wafer, ana pirang-pirang alesan kanggo kedadeyan ekspansi termal. Fluktuasi suhu ing bengkel, panas sing diasilake dening operasi komponen peralatan, lan suhu dhuwur sing cepet sing disebabake dening proses laser kabeh bakal nyebabake basis granit "ngembang lan nyusut amarga owah-owahan suhu". Sawise basis ngalami ekspansi termal, kelurusan rel pandhuan lan kerataan platform bisa nyimpang, sing nyebabake lintasan gerakan meja wafer sing ora akurat. Komponen optik pendukung uga bakal obah, sing nyebabake sinar pemindaian "nyimpang". Makarya terus-terusan sajrone wektu sing suwe uga bakal nglumpukake kesalahan, sing nggawe akurasi saya tambah parah.
Nanging aja kuwatir. Wong-wong wis duwe solusi. Babagan bahan, urat granit kanthi koefisien ekspansi termal sing luwih murah bakal dipilih lan diolah nganggo proses penuaan. Babagan kontrol suhu, suhu bengkel dikontrol kanthi tepat ing 23±0,5℃ utawa malah luwih murah, lan piranti disipasi panas aktif uga bakal dirancang kanggo dhasar kasebut. Babagan desain struktural, struktur simetris lan dhukungan fleksibel diadopsi, lan pemantauan wektu nyata ditindakake liwat sensor suhu. Kesalahan sing disebabake dening deformasi termal dikoreksi kanthi dinamis dening algoritma.
Piranti canggih kaya ta mesin litografi ASML, liwat metode iki, njaga efek ekspansi termal saka basis granit ing kisaran sing cilik banget, saengga akurasi pemindaian wafer bisa tekan tingkat nanometer. Mulane, anggere dikontrol kanthi bener, basis granit tetep dadi pilihan sing bisa dipercaya kanggo peralatan pemindaian wafer.
Wektu kiriman: 12 Juni 2025