Ing link tombol manufaktur chip - wafer mindhai, akurasi peralatan nemtokake kualitas chip. Minangka komponèn penting saka peralatan, masalah expansion termal saka basa mesin granit wis kepincut akeh manungsa waé.
Koefisien ekspansi termal granit biasane antarane 4 lan 8 × 10⁻⁶ / ℃, sing luwih murah tinimbang logam lan marmer. Iki tegese nalika owah-owahan suhu, ukurane rada sithik. Nanging, perlu dicathet yen ekspansi termal sing kurang ora ateges ora ana ekspansi termal. Ing fluktuasi suhu sing ekstrem, sanajan ekspansi sing sithik bisa mengaruhi akurasi pemindaian wafer skala nano.
Sajrone proses mindhai wafer, ana sawetara alasan kanggo kedadeyan ekspansi termal. Fluktuasi suhu ing bengkel, panas sing diasilake dening operasi komponen peralatan, lan suhu dhuwur sing cepet digawa dening proses laser kabeh bakal nyebabake basa granit "ngembangake lan kontrak amarga owah-owahan suhu". Sawise basa ngalami ekspansi termal, straightness saka ril guide lan flatness saka platform bisa nyimpang, asil ing lintasan gerakan ora akurat saka meja wafer. Komponen optik sing ndhukung uga bakal owah, nyebabake sinar pemindaian "nyimpang". Makarya terus-terusan kanggo wektu sing suwe uga bakal nglumpukake kesalahan, nggawe akurasi dadi luwih elek.
Nanging aja kuwatir. Wong wis duwe solusi. Ing babagan bahan, urat granit kanthi koefisien ekspansi termal sing luwih murah bakal dipilih lan ditindakake perawatan tuwa. Ing babagan kontrol suhu, suhu bengkel dikontrol kanthi tepat ing 23 ± 0.5 ℃ utawa malah luwih murah, lan piranti boros panas sing aktif uga bakal dirancang kanggo pangkalan. Ing babagan desain struktural, struktur simetris lan dhukungan fleksibel diadopsi, lan pemantauan wektu nyata ditindakake liwat sensor suhu. Kesalahan sing disebabake dening deformasi termal didandani kanthi dinamis kanthi algoritma.
Peralatan canggih kayata mesin litografi ASML, kanthi cara kasebut, njaga efek ekspansi termal saka basa granit ing jarak sing cilik banget, supaya akurasi pemindaian wafer tekan tingkat nanometer. Mulane, anggere dikontrol kanthi bener, basa granit tetep dadi pilihan sing bisa dipercaya kanggo peralatan pemindaian wafer.
Wektu kirim: Jun-12-2025