Granit wis dadi bahan sing umum digunakake ing industri semikonduktor amarga sifat mekanik sing apik banget, stabilitas termal, lan koefisien ekspansi termal sing kurang. Nanging, kanthi panjaluk sing saya tambah kanggo presisi lan produktivitas sing luwih dhuwur, bahan alternatif wis muncul minangka pilihan sing layak kanggo fabrikasi komponen peralatan semikonduktor. Ing artikel iki, kita bakal njelajah sawetara bahan alternatif kanggo bagean granit ing peralatan semikonduktor lan mbandhingake kaluwihan lan kekurangane.
Bahan Alternatif kanggo Bagian Granit
1. Bahan kaca-keramik
Bahan kaca-keramik, kaya ta Zerodur lan Cervit, wis akeh digunakake ing industri semikonduktor amarga koefisien ekspansi termal sing kurang, sing meh padha karo silikon. Akibate, bahan kasebut bisa nyedhiyakake stabilitas termal sing luwih apik lan presisi sing luwih apik ing proses fabrikasi semikonduktor. Zerodur, utamane, nduweni tingkat homogenitas lan stabilitas sing dhuwur, saengga cocog kanggo manufaktur peralatan litografi.
Kauntungan:
- Koefisien ekspansi termal sing endhek
- Presisi lan stabilitas sing dhuwur
- Cocok kanggo aplikasi suhu dhuwur
Kekurangane:
- Regane luwih larang dibandhingake karo granit
- Relatif rapuh, bisa nuwuhake tantangan ing mesin lan penanganan
2. Keramik
Bahan keramik, kaya ta aluminium oksida (Al2O3), silikon karbida (SiC), lan silikon nitrida (Si3N4), nduwèni sipat mekanik sing apik banget, tahan suhu dhuwur, lan koefisien ekspansi termal sing cendhèk. Sifat-sifat iki ndadèkaké keramik cocog kanggo onderdil peralatan semikonduktor sing mbutuhaké stabilitas lan presisi termal sing dhuwur, kaya ta tahapan wafer lan chuck.
Kauntungan:
- Stabilitas lan kekuatan termal sing dhuwur
- Koefisien ekspansi termal sing endhek
- Resistensi aus lan inertitas kimia sing dhuwur
Kekurangane:
- Bisa rapuh lan gampang retak, utamane nalika proses mesin lan penanganan
- Ngolah lan nggosok keramik bisa dadi tantangan lan mbutuhake wektu akeh
3. Logam
Bahan-bahan berbasis logam, kayata baja tahan karat lan titanium, wis digunakake kanggo sawetara bagean peralatan semikonduktor amarga kemampuan mesin sing apik banget lan kekuatane sing dhuwur. Bahan-bahan iki umume digunakake ing aplikasi sing ora mbutuhake stabilitas termal sing dhuwur, kayata bagean ruang, kopling, lan feedthrough.
Kauntungan:
- Kemampuan mesin lan las sing apik
- Kekuatan lan daktilitas sing dhuwur
- Regane murah dibandhingake karo sawetara bahan alternatif
Kekurangane:
- Koefisien ekspansi termal sing dhuwur
- Ora cocok kanggo aplikasi suhu dhuwur amarga masalah ekspansi termal
- Gampang kena korosi lan kontaminasi
Dudutan:
Ringkesane, sanajan granit wis dadi pilihan populer kanggo bagean peralatan semikonduktor, bahan alternatif wis muncul, saben duwe kaluwihan lan kekurangan sing unik. Bahan kaca-keramik presisi lan stabil banget nanging bisa rapuh. Keramik kuwat lan duwe stabilitas termal sing apik banget nanging uga bisa rapuh, saengga luwih angel digawe. Logam regane murah, bisa diolah, lan ulet, nanging duwe koefisien ekspansi termal sing luwih dhuwur lan rentan marang korosi lan kontaminasi. Nalika milih bahan kanggo peralatan semikonduktor, penting kanggo nimbang syarat khusus aplikasi kasebut lan milih bahan sing nyeimbangake biaya, kinerja, lan linuwih.
Wektu kiriman: 19-Mar-2024