|
Ing bidang manufaktur semikonduktor, akurasi peralatan inspeksi wafer langsung nemtokake kualitas lan ngasilake kripik. Minangka pondasi sing ndhukung komponen deteksi inti, stabilitas dimensi bahan dasar peralatan nduweni peran penting ing kinerja operasional jangka panjang peralatan kasebut. Granit lan wesi tuang minangka rong bahan dhasar sing umum digunakake kanggo peralatan inspeksi wafer. Panaliten komparatif 10 taun wis ngumumake bedane sing signifikan ing antarane babagan stabilitas dimensi, nyedhiyakake referensi penting kanggo pilihan peralatan. |
Latar mburi lan Desain Eksperimental
Proses produksi wafer semikonduktor nduweni syarat sing dhuwur banget kanggo akurasi deteksi. Malah panyimpangan dimensi tingkat mikrometer bisa nyebabake penurunan kinerja chip utawa malah scrapping. Kanggo njelajah stabilitas dimensi granit lan wesi tuang sajrone panggunaan jangka panjang, tim riset ngrancang eksperimen sing simulasi lingkungan kerja nyata. Sampel granit lan wesi tuang saka spesifikasi sing padha dipilih lan diselehake ing kamar lingkungan sing suhu fluktuasi saka 15 ℃ nganti 35 ℃ lan asor fluktuasi saka 30% nganti 70% RH. Getaran mekanik sajrone operasi peralatan kasebut disimulasi liwat meja geter. Dimensi kunci sampel diukur saben waktu nggunakake interferometer laser presisi dhuwur, lan data kasebut terus direkam sajrone 10 taun. |
Asil eksperimen: Kauntungan mutlak saka granit
Data eksperimen sepuluh taun nuduhake yen landasan granit nuduhake stabilitas sing nggumunake. Koefisien ekspansi termal sithik banget, rata-rata mung 4,6 × 10⁻⁶ / ℃. Ing owah-owahan suhu drastis, panyimpangan dimensi tansah kontrol ing ± 0.001mm. Nalika owah-owahan kelembapan, struktur granit sing padhet ndadekake meh ora kena pengaruh, lan ora ana owah-owahan dimensi sing bisa diukur. Ing lingkungan geter mechanical, karakteristik damping banget saka granit èfèktif nyerep energi geter, lan fluktuasi dimensi banget cilik. |
Ing kontras, kanggo landasan wesi cast, koefisien rata-rata saka expansion termal tekan 11 × 10⁻⁶ / ℃ - 13 × 10⁻⁶ / ℃, lan panyimpangan dimensi maksimum disebabake owah-owahan suhu ing 10 taun ± 0.05mm. Ing lingkungan sing lembab, wesi tuang gampang teyeng lan karat. Sawetara conto nuduhake deformasi lokal, lan panyimpangan dimensi luwih tambah. Ing tumindak getaran mechanical, wesi cast nduweni kinerja damping getaran miskin lan ukurane kerep fluctuates, nggawe angel kanggo ketemu syarat-tliti dhuwur saka pengawasan wafer. |
Alesan penting kanggo prabédan ing stabilitas
Granit dibentuk liwat atusan yuta taun liwat proses geologi. Struktur internal kandhel lan seragam, lan kristal mineral disusun kanthi stabil, ngilangi stres internal kanthi alami. Iki ndadekake banget ora sensitif marang owah-owahan ing faktor njaba kayata suhu, asor lan geter. Wesi tuang digawe kanthi proses casting lan duwe cacat mikroskopis kayata pori-pori lan bolongan pasir ing njero. Kangge, kaku ampas kui sak proses casting iku rawan kanggo nimbulaké owah-owahan dimensi ing stimulasi lingkungan njaba. Sifat-sifat metalik saka wesi tuang nggawe rentan kanggo karat amarga kelembapan, nyepetake karusakan struktural lan nyuda stabilitas dimensi. |
Dampak ing peralatan inspeksi wafer
Peralatan inspeksi wafer adhedhasar substrat granit, kanthi kinerja dimensi sing stabil, bisa mesthekake yen sistem inspeksi njaga presisi sing dhuwur kanggo wektu sing suwe, nyuda misjudgment lan deteksi sing ora kejawab sing disebabake dening drift akurasi peralatan, lan ningkatake asil produk. Kangge, syarat pangopènan kurang nyuda biaya siklus urip lengkap peralatan. Peralatan sing nggunakake substrat wesi, amarga stabilitas dimensi sing kurang, mbutuhake kalibrasi lan pangopènan sing kerep. Iki ora mung nambah biaya operasi nanging uga bisa mengaruhi kualitas produksi semikonduktor amarga presisi sing ora cukup, nyebabake kerugian ekonomi potensial. |
Ing tren industri semikonduktor nguber presisi sing luwih dhuwur lan kualitas sing luwih apik, milih granit minangka bahan dhasar kanggo peralatan inspeksi wafer temtu langkah sing wicaksana kanggo njamin kinerja peralatan lan ningkatake daya saing perusahaan. |
Wektu kirim: Mei-14-2025