Manufaktur semikonduktor: Ing proses manufaktur chip, proses fotolitografi kudu nransfer pola sirkuit kanthi tepat menyang wafer. Dasar granit saka modul gerakan ultra-tliti ngambang sumbu tunggal bisa nyedhiyakake posisi presisi dhuwur lan dhukungan stabil kanggo meja wafer ing peralatan litografi. Contone, ASML lan manufaktur mesin lithography internasional liyane nggunakake modul gerakan ngambang hawa basis granit ing peralatan dhuwur-mburi, kang bisa ngontrol akurasi posisi wafer ing tingkat nanometer kanggo mesthekake akurasi pola litografi, saéngga nambah integrasi lan kinerja chip.
Bidang pangukuran presisi: CMM minangka peralatan pangukuran presisi sing umum digunakake ing produksi industri, sing digunakake kanggo ngukur ukuran, wangun lan akurasi posisi benda kerja. Modul gerakan ultra-tliti saka ngambang udara sumbu tunggal ing basa granit bisa digunakake minangka platform gerakan CMM, sing bisa mujudake gerakan linear kanthi tliti dhuwur lan nyedhiyakake lintasan gerakan sing stabil kanggo probe pangukuran. Contone, Hexagon kang dhuwur-mburi CMM nggunakake kombinasi iki kanggo ngukur bagean gedhe lan Komplek karo ukuran akurasi nganti tingkat micron, menehi jaminan kuwat kanggo kontrol kualitas bagean ing otomotif, aerospace lan industri liyane.
Bidang Aerospace: Ing pangolahan lan tes bagean aerospace, presisi dhuwur dibutuhake. Contone, mesin agul-agul mesin pesawat mbutuhake kontrol sing tepat saka lintasan gerakan alat kanggo njamin akurasi profil agul-agul. Dasar granit saka modul gerakan ultra-tliti sumbu sumbu tunggal bisa diterapake ing pusat mesin limang sumbu lan peralatan liyane kanggo nyedhiyakake kontrol gerakan kanthi tliti dhuwur kanggo alat kasebut lan mesthekake yen akurasi mesin agul-agul bisa nyukupi syarat desain. Ing wektu sing padha, ing proses perakitan mesin aero, uga kudu nggunakake peralatan pangukuran kanthi tliti dhuwur kanggo ndeteksi akurasi perakitan bagean kasebut. Modul gerakan ngambang udara saka basa granit bisa nyedhiyakake dhukungan sing stabil lan gerakan akurat kanggo peralatan ukur kanggo njamin kualitas perakitan.
Bidang inspeksi optik: Ing proses manufaktur lan tes komponen optik, perlu kanggo nindakake posisi lan pangukuran kanthi tliti dhuwur saka komponen optik. Contone, nalika nggawe komponen optik presisi dhuwur kayata pangilon lan lensa, sampeyan kudu nggunakake interferometer lan peralatan liyane kanggo ndeteksi akurasi bentuk permukaan. Dasar granit saka sumbu tunggal modul gerakan ultra-tliti ngambang bisa digunakake minangka platform gerakan interferometer, sing bisa mujudake akurasi posisi sub-micron lan nyedhiyakake dhukungan data sing akurat kanggo deteksi komponen optik. Kajaba iku, ing peralatan pangolahan laser, uga perlu nggunakake platform gerakan kanthi tliti dhuwur kanggo ngontrol lintasan pemindaian sinar laser, basa granit saka modul gerakan ngambang udhara bisa nyukupi syarat kasebut, kanggo entuk pangolahan laser kanthi tliti dhuwur.
Wektu kirim: Apr-07-2025