Manufaktur semikonduktor: Ing proses manufaktur chip, proses fotolitografi kudu nransfer pola sirkuit kanthi tepat menyang wafer. Basis granit saka modul gerakan ultra-presisi ngambang udara sumbu tunggal bisa nyedhiyakake posisi presisi dhuwur lan dhukungan sing stabil kanggo meja wafer ing peralatan litografi. Contone, ASML lan produsen mesin litografi sing misuwur ing internasional liyane nggunakake modul gerakan ngambang udara basis granit ing peralatan canggih, sing bisa ngontrol akurasi posisi wafer ing tingkat nanometer kanggo njamin akurasi pola litografi, saengga ningkatake integrasi lan kinerja chip.
Bidang pangukuran presisi: CMM minangka peralatan pangukuran presisi sing umum digunakake ing produksi industri, sing digunakake kanggo ngukur ukuran, bentuk, lan akurasi posisi benda kerja. Modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara sumbu tunggal ing dasar granit bisa digunakake minangka platform gerakan CMM, sing bisa nggayuh gerakan linier presisi dhuwur lan nyedhiyakake lintasan gerakan sing stabil kanggo probe pangukuran. Contone, CMM kelas atas Hexagon nggunakake kombinasi iki kanggo ngukur bagean gedhe lan kompleks kanthi akurasi pangukuran nganti tingkat mikron, nyedhiyakake jaminan sing kuwat kanggo kontrol kualitas bagean ing industri otomotif, aerospace, lan liyane.
Lapangan aerospace: Ing pangolahan lan pangujian bagean aerospace, presisi dhuwur dibutuhake. Contone, pamrosesan bilah mesin pesawat mbutuhake kontrol sing tepat saka lintasan gerakan alat kanggo njamin akurasi profil bilah. Dasar granit saka modul gerakan ultra-presisi pelampung udara sumbu tunggal bisa ditrapake ing pusat mesin limang sumbu lan peralatan liyane kanggo nyedhiyakake kontrol gerakan presisi dhuwur kanggo alat lan njamin akurasi pamrosesan bilah bisa memenuhi syarat desain. Ing wektu sing padha, ing proses perakitan mesin aero, uga perlu nggunakake peralatan pangukuran presisi dhuwur kanggo ndeteksi akurasi perakitan bagean kasebut. Modul gerakan ngambang udara saka dasar granit bisa nyedhiyakake dhukungan sing stabil lan gerakan sing akurat kanggo peralatan pangukuran kanggo njamin kualitas perakitan.
Bidang inspeksi optik: Ing proses manufaktur lan uji coba komponen optik, perlu kanggo nindakake posisi lan pangukuran komponen optik kanthi presisi dhuwur. Contone, nalika nggawe komponen optik presisi dhuwur kayata pangilon lan lensa, perlu nggunakake interferometer lan peralatan liyane kanggo ndeteksi akurasi bentuk permukaan. Basis granit saka modul gerakan ultra-presisi udara ngambang sumbu tunggal bisa digunakake minangka platform gerakan interferometer, sing bisa nggayuh akurasi posisi sub-mikron lan nyedhiyakake dhukungan data sing akurat kanggo ndeteksi komponen optik. Kajaba iku, ing peralatan pangolahan laser, uga perlu nggunakake platform gerakan presisi dhuwur kanggo ngontrol lintasan pemindaian sinar laser, basis granit saka modul gerakan udara ngambang bisa memenuhi syarat iki, kanggo entuk pangolahan laser presisi dhuwur.
Wektu kiriman: 07-Apr-2025