Ing rantai manufaktur semikonduktor sing tepat, sistem transfer wafer kaya "line line produksi chip", lan stabilitas lan akurasi langsung nemtokake tingkat ngasilake chip. Generasi anyar sistem transfer wafer revolusioner nggabungke motor linear karo basa granit, lan kaluwihan unik saka bahan granit sing sabenere kode inti kanggo mbukak kunci transmisi kinerja dhuwur.
|
Dasar granit: Mbangun "pondasi rock-solid" kanggo transmisi stabil
Granit, wis ngalami atusan yuta taun refinement geologi, fitur kandhel lan seragam internal crystallization. Karakteristik alam iki ndadekake bahan dasar sing cocog kanggo sistem transfer wafer. Ing lingkungan Komplek saka cleanrooms semikonduktor, granit, karo koefisien sawijining Ultra-kurang saka expansion termal (mung 5-7 × 10⁻⁶ / ℃), bisa nolak panas kui sak operasi peralatan lan pengaruh saka owah-owahan suhu lingkungan, njupuk stabilitas saka ukuran dhasar lan Nyingkiri path transmisi panyimpangan disebabake deformasi termal. Kinerja damping getaran sing luar biasa bisa cepet nyerep getaran mekanik sing diasilake nalika wiwitan, mateni lan akselerasi motor linear, uga gangguan eksternal sing digawa dening operasi peralatan liyane ing bengkel, nyedhiyakake platform sing stabil kanthi "zero shake" kanggo transmisi wafer. |
Kangge, stabilitas kimia saka granit mesthekake yen ora corrode utawa teyeng ing lokakarya semikonduktor ngendi asam lan alkali reagen molah malih lan kebersihan dhuwur dibutuhake, saéngga ngindhari impact ing akurasi transmisi amarga tuwa materi utawa adsorpsi polutan. Karakteristik permukaan sing alus lan padhet bisa luwih efektif nyuda adhesi bledug, nyukupi standar bebas bledug kamar sing resik lan ngilangi risiko kontaminasi wafer saka oyod. |
Efek "kemitraan emas" saka motor linear lan granit
Motors linear, kanthi karakteristik ora ana reresik transmisi mekanik, akselerasi dhuwur lan kecepatan respon dhuwur, menehi transmisi wafer kanthi kaluwihan "cepet, akurat lan stabil". Dasar granit nyedhiyakake platform dhukungan sing padhet lan dipercaya. Loro kerja bareng kanggo entuk kabisat ing kinerja. Nalika motor linear mimpin operator wafer kanggo mbukak ing trek basa granit, rigidity kuwat lan stabilitas basa njamin transmisi efisien saka pasukan nyopir motor, Nyingkiri mundhut pasukan utawa transmisi lag disebabake ewah-ewahan bentuk basa. |
Didorong dening panjaluk presisi nano, motor linear bisa entuk kontrol pamindahan tingkat sub-mikron. Karakteristik pangolahan dhasar granit kanthi tliti dhuwur (kanthi kesalahan flatness sing dikontrol ing ± 1μm) cocog karo kontrol motor linear sing tepat, kanthi bebarengan njamin kesalahan posisi nalika transmisi wafer kurang saka ± 5μm. Apa iku shuttling-kacepetan dhuwur antarane macem-macem peralatan proses utawa parking pas kanggo handover wafer, kombinasi motor linear lan basa granit bisa mesthekake "nul panyimpangan lan nul jitter" ing transmisi wafer. |
Verifikasi praktik industri: Peningkatan efisiensi lan tingkat asil
Sawise nganyarke sistem transfer wafer sawijining, perusahaan semikonduktor global anjog diadopsi motor linear + solusi basa granit, kang nambah efficiency transfer wafer dening 40%, suda tingkat kedadean saka bentet kayata tabrakan lan nutup kerugian sak proses transfer dening 85%, lan nambah tingkat ngasilaken sakabèhé saka Kripik dening 6%. Konco data dumunung njamin stabilitas transmisi diwenehake dening basa granit lan kacepetan dhuwur lan efek sinergi saka motor linear, kang Ngartekno nyuda mundhut lan kesalahan ing proses transmisi wafer. |
Saka sifat materi kanggo manufaktur tliti, saka kaluwihan kinerja kanggo verifikasi praktis, kombinasi motor linear lan basa granit wis redefined standar sistem transfer wafer. Ing mangsa ngarep nalika teknologi semikonduktor maju menyang proses 3nm lan 2nm, bahan granit mesthi bakal terus nyuntikake dorongan sing kuat menyang pangembangan industri kanthi kaluwihan sing ora bisa diganti.
Wektu kirim: Mei-14-2025