Bahan granit digunakake kanthi wiyar ing industri semikonduktor amarga karakteristik sing apik banget, kayata stabilitas dhuwur, ekspansi termal sing kurang, lan resistensi korosi sing dhuwur.Sifat-sifat kasebut ndadekake granit minangka bahan sing cocog kanggo mbangun komponen presisi dhuwur ing sistem transfer wafer.
Ing proses manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer nduweni peran penting kanggo ngeterake wafer ing macem-macem tahapan proses manufaktur.Presisi lan akurasi minangka syarat penting kanggo sistem kasebut amarga panyimpangan sing sithik bisa mbebayani kabeh proses.Mulane, komponen ing sistem transfer wafer kudu digawe saka bahan berkualitas tinggi, lan granit meets kritéria kasebut.
Sawetara bagéan saka sistem transfer wafer sing digawe saka bahan granit kalebu:
1. Vacuum Chuck Tabel
Tabel chuck vakum digunakake kanggo nyekeli wafer sak proses, lan kudu lumahing stabil kanggo mesthekake wafer ora rusak.Granit minangka bahan sing cocog kanggo nggawe meja iki amarga nduweni permukaan sing rata lan ora keropos sing nyedhiyakake stabilitas lan presisi sing dhuwur.Kajaba iku, granit nduweni koefisien ekspansi termal sing kurang, dadi tahan kanggo owah-owahan suhu sing bisa nyebabake owah-owahan dimensi ing wafer.
2. Panggung Udara
Tahap bantalan udara digunakake kanggo ngeterake wafer liwat macem-macem tahapan proses manufaktur.Tahap kasebut dirancang kanggo nyedhiyakake gerakan tanpa gesekan, sing mbutuhake presisi lan stabilitas sing dhuwur.Granit digunakake ing aplikasi iki amarga iku watu kaku lan hard, lan nolak deformasi lan nyandhang liwat wektu.
3. Pandhuan Gerak Linier
Panuntun gerakan linear digunakake kanggo nuntun tataran bantalan udhara, lan kudu dipanggonke kanthi akurat kanggo nyilikake kesalahan.Granit digunakake kanggo mbangun pandhuan iki amarga nduweni stabilitas mekanik lan kekuatan sing apik.Materi kasebut uga tahan karat, sing njamin umur dawa sistem pandhuan.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakake kanggo ngukur dimensi lan sifat wafer sajrone proses manufaktur.Granit minangka bahan sing cocog kanggo mbangun peralatan iki amarga nduweni kekakuan sing dhuwur, ekspansi sing sithik, lan deformasi minimal ing beban.Kajaba iku, stabilitas termal granit njamin peralatan metrologi tetep stabil lan akurat sajrone wektu.
Ing kesimpulan, industri semikonduktor gumantung ing tliti lan akurasi, lan bahan granit wis buktiaken banget dipercaya lan stabil ing proses Manufaktur.Kanthi akeh komponen kritis ing sistem transfer wafer mbutuhake stabilitas dhuwur, tliti, lan expansion termal kurang, engineers wis nguripake kanggo bahan granit kanggo nyukupi syarat kritis iki.
Posting wektu: Mar-19-2024