Bahan granit digunakake ing industri semikonduktor amarga karakteristik sing apik banget, kayata stabilitas dhuwur, ekspansi termal sing kurang, lan resistensi dhuwur kanggo karat. Properti kasebut nggawe granit minangka bahan sing cocog kanggo mbangun komponen kanthi tliti ing sistem transfer wafer.
Ing proses Pabrik Semikonduktor, sistem transfer wafer duwe peran kritis kanggo ngangkut wafers ing macem-macem tahapan proses manufaktur. Precision lan akurasi minangka syarat penting kanggo sistem kasebut minangka sanajan panyimpangan sethithik bisa ngrusak kabeh proses. Mula, komponen ing sistem transfer wafer kudu digawe saka bahan bermutu tinggi, lan Granit ketemu kritéria kasebut.
Sawetara bagean sistem transfer wafer sing digawe saka bahan granit kalebu:
1. Tabel Chuck Vacuum
Tabel Chuck Vacuum digunakake kanggo nyekel wafer sajrone proses kasebut, lan kudu duwe permukaan stabil kanggo njamin wafer ora rusak. Granit minangka bahan sing cocog kanggo nggawe tabel iki amarga ana lumahing sing rata lan keropos sing nyedhiyakake stabilitas lan tliti. Kajaba iku, granit duwe koefisien ekspansi termal, dadi tahan owah-owahan suhu sing bisa nyebabake owah-owahan dimensi ing wafer.
2. Tahap Udara Udara
Tahap udara digunakake digunakake kanggo ngeterake wafer liwat macem-macem tahapan proses manufaktur. Tahap kasebut direkayasa kanggo menehi gerakan sing ora gesekan, sing mbutuhake tliti lan stabilitas sing dhuwur. Granit digunakake ing aplikasi iki amarga ana watu sing kaku lan angel, lan nolak cacat lan nyandhang wektu.
3. Pandhuan gerakan linear
Pandhuan gerakan linear digunakake kanggo nuntun tahap hawa, lan kudu ditrapake kanthi akurat kanggo nyilikake kesalahan. Granit digunakake kanggo mbangun pandhuan iki amarga nduweni stabilitas lan kekuatan mekanik sing apik. Bahan kasebut uga tahan karat, sing njamin umur dawa sistem pandhuan.
4. Peralatan Metrology
Peralatan Metrologi digunakake kanggo ngukur dimensi lan sifat wafer sajrone proses manufaktur. Granit minangka bahan sing cocog kanggo mbangun peralatan iki amarga nduweni kaku sing dhuwur, ekspansi, lan cacat minimal ing beban. Kajaba iku, stabilitas termal Granit njamin peralatan metrologi tetep stabil lan akurat liwat wektu.
Kesimpulane, industri semikonduktor gumantung karo presisi lan akurasi, lan bahan granit wis kabukten dipercaya lan stabil ing proses manufaktur. Kanthi komponen kritis ing sistem transfer wafer sing mbutuhake stabilitas, presisi, lan kurang, insinyur wis dadi bahan granit kanggo nyukupi syarat kritis kasebut.
Wektu Pos: Mar-19-2024