Bahan granit digunakake sacara wiyar ing industri semikonduktor amarga karakteristik sing apik banget, kayata stabilitas sing dhuwur, ekspansi termal sing kurang, lan resistensi korosi sing dhuwur. Sifat-sifat kasebut ndadekake granit minangka bahan sing ideal kanggo mbangun komponen presisi dhuwur ing sistem transfer wafer.
Ing proses manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer nduweni peran penting kanggo ngangkut wafer ing macem-macem tahapan proses manufaktur. Presisi lan akurasi minangka syarat penting kanggo sistem kasebut amarga sanajan penyimpangan cilik bisa mbebayani kabeh proses. Mulane, komponen ing sistem transfer wafer kudu digawe saka bahan sing berkualitas tinggi, lan granit memenuhi kriteria kasebut.
Sawetara bagean saka sistem transfer wafer sing digawe saka bahan granit kalebu:
1. Meja Chuck Vakum
Meja vakum chuck digunakake kanggo nyekeli wafer sajrone proses kasebut, lan kudu duwe permukaan sing stabil kanggo mesthekake yen wafer ora rusak. Granit minangka bahan sing ideal kanggo nggawe meja iki amarga duwe permukaan sing rata lan ora keropos sing nyedhiyakake stabilitas lan presisi sing dhuwur. Kajaba iku, granit duwe koefisien ekspansi termal sing sithik, saengga tahan marang owah-owahan suhu sing bisa nyebabake owah-owahan dimensi ing wafer.
2. Tahap Bantalan Udara
Tahap bantalan udara digunakake kanggo ngangkut wafer liwat macem-macem tahapan proses manufaktur. Tahap iki dirancang kanggo nyedhiyakake gerakan tanpa gesekan, sing mbutuhake presisi lan stabilitas sing dhuwur. Granit digunakake ing aplikasi iki amarga minangka watu sing kaku lan atos, lan tahan deformasi lan aus suwe-suwe.
3. Pandhuan Gerak Linier
Pandhuan gerakan linier digunakake kanggo nuntun tahap bantalan udara, lan kudu diposisikan kanthi akurat kanggo nyuda kesalahan. Granit digunakake kanggo mbangun pandhuan iki amarga nduweni stabilitas lan kekuatan mekanik sing apik banget. Bahan kasebut uga tahan korosi, sing njamin umur dawa sistem pandhuan.
4. Piranti Metrologi
Piranti metrologi digunakake kanggo ngukur dimensi lan sifat wafer sajrone proses manufaktur. Granit minangka bahan sing ideal kanggo mbangun piranti iki amarga nduweni kekakuan sing dhuwur, ekspansi sing kurang, lan deformasi minimal nalika beban. Kajaba iku, stabilitas termal granit njamin piranti metrologi tetep stabil lan akurat sajrone wektu.
Kesimpulane, industri semikonduktor gumantung marang presisi lan akurasi, lan bahan granit wis kabukten bisa dipercaya lan stabil banget ing proses manufaktur. Kanthi akeh komponen penting ing sistem transfer wafer sing mbutuhake stabilitas dhuwur, presisi, lan ekspansi termal sing sithik, para insinyur wis nggunakake bahan granit kanggo nyukupi syarat-syarat penting kasebut.
Wektu kiriman: 19-Mar-2024