Platform presisi granit, kanthi kekakuan sing dhuwur, koefisien ekspansi sing kurang, kinerja redaman sing apik lan sifat anti-magnetik alami, duweni nilai aplikasi sing ora bisa diganti ing lapangan manufaktur lan riset ilmiah sing dhuwur banget ing ngendi presisi lan stabilitas dibutuhake. Ing ngisor iki minangka skenario aplikasi inti lan kaluwihan teknis:
I. Lapangan peralatan Processing Ultra-tliti
Peralatan produksi semikonduktor
Skenario aplikasi: Tabel workpiece mesin Lithography, basis mesin wafer dicing, platform posisi peralatan packaging.
Nilai teknis:
Koefisien ekspansi termal granit mung (0.5-1.0) × 10⁻⁶ / ℃, sing bisa nolak fluktuasi suhu sajrone paparan skala nano saka mesin litografi (kesalahan pamindahan <0.1nm ing lingkungan ± 0.1 ℃).
Struktur mikro-pori internal mbentuk damping alami (rasio redaman 0,05 nganti 0,1), nyuda getaran (amplitudo <2μm) sajrone nglereni kacepetan dhuwur kanthi mesin dicing lan mesthekake yen kekasaran pinggiran Ra saka pemotongan wafer kurang saka 1μm.
2. Mesin Penggiling Presisi lan Mesin Ukur Koordinat (CMM)
Kasus aplikasi:
Dasar mesin ukur telung koordinat nganggo struktur granit integral, kanthi rata ± 0.5μm / m. Digabungake karo rel pandhuan ngambang udara, entuk akurasi gerakan tingkat nano (akurasi posisi baleni ± 0.1μm).
Meja kerja mesin penggiling optik nganggo struktur komposit granit lan baja perak. Nalika mecah kaca K9, waviness lumahing kurang saka λ / 20 (λ = 632.8nm), ketemu syarat Processing Ultra-lancar lensa laser.
Ii. Bidang Optik lan Fotonik
Teleskop astronomi lan sistem laser
Aplikasi khas:
Platform dhukungan saka permukaan bayangan teleskop radio gedhe nggunakake struktur honeycomb granit, sing bobote entheng (kepadhetan 2.7g / cm³) lan duwe resistensi geter angin sing kuwat (deformasi <50μm ing angin tingkat 10).
Platform optik interferometer laser nggunakake granit keropos mikro. Reflektor kasebut diatasi kanthi adsorpsi vakum, kanthi kesalahan flatness kurang saka 5nm, njamin stabilitas eksperimen optik ultra-presisi kayata deteksi gelombang gravitasi.
2. Processing komponen optik presisi
Keuntungan teknis:
Permeabilitas magnetik lan konduktivitas listrik platform granit cedhak karo nol, ngindhari pengaruh interferensi elektromagnetik ing proses presisi kayata ion beam polishing (IBF) lan magnetorheological polishing (MRF). Nilai PV akurasi wangun lumahing saka lensa asphical diproses bisa tekan λ/100.
Iii. Aerospace lan Inspeksi Presisi
Platform inspeksi komponen penerbangan
Skenario aplikasi: inspeksi telung dimensi saka glathi pesawat, pangukuran wangun lan posisi toleransi komponen struktural aluminium aviation.
Kinerja utama:
Lumahing platform granit dianggep dening karat elektrolitik kanggo mbentuk pola nggoleki (karo roughness saka Ra 0.4-0.8μm), cocok kanggo probe pemicu tliti dhuwur, lan kesalahan ndeteksi profil agul-agul kurang saka 5μm.
Bisa tahan beban luwih saka 200kg komponen penerbangan, lan owah-owahan flatness sawise panggunaan jangka panjang kurang saka 2μm / m, nyukupi syarat pangopènan presisi Grade 10 ing industri aerospace.
2. Kalibrasi komponen navigasi inersia
Syarat teknis: Kalibrasi statis piranti inersia kayata giroskop lan akselerometer mbutuhake platform referensi ultra-stabil.
Solusi: Platform granit digabungake karo sistem isolasi geter aktif (frekuensi alami < 1Hz), entuk kalibrasi presisi dhuwur saka stabilitas nol-offset komponen inersia <0.01°/h ing lingkungan kanthi percepatan geter < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanoteknologi lan Biomedis
Scanning probe microscope (SPM) platform
Fungsi inti: Minangka basis kanggo atomic force microscopy (AFM) lan scanning tunneling microscopy (STM), perlu diisolasi saka getaran lingkungan lan drift termal.
Indikator kinerja:
Platform granit, kanthi kombinasi sikil isolasi getaran pneumatik, bisa nyuda tingkat transmisi getaran eksternal (1-100Hz) nganti kurang saka 5%, entuk pencitraan tingkat atom AFM ing lingkungan atmosfer (resolusi <0.1nm).
Sensitivitas suhu kurang saka 0.05μm / ℃, sing nyukupi syarat kanggo observasi skala nano saka conto biologi ing lingkungan suhu konstan (37 ℃ ± 0,1 ℃).
2. Peralatan pengemasan biochip
Kasus aplikasi: Platform alignment kanthi tliti dhuwur kanggo chip sekuensing DNA nggunakake rel pandhuan ngambang udara granit, kanthi akurasi posisi ± 0.5μm, njamin ikatan sub-mikron ing antarane saluran mikrofluida lan elektroda deteksi.
V. Skenario Aplikasi Muncul
Basis peralatan komputasi kuantum
Tantangan teknis: Manipulasi Qubit mbutuhake suhu sing sithik banget (tingkat mK) lan lingkungan mekanik sing stabil banget.
Solusi: Properti ekspansi termal sing sithik banget saka granit (tingkat ekspansi <1ppm saka -200 ℃ nganti suhu kamar) bisa cocog karo karakteristik kontraksi magnet superkonduktor suhu ultra-kurang, njamin akurasi alignment sajrone kemasan kripik kuantum.
2. Sistem Electron Beam Lithography (EBL).
Kinerja tombol: Properti insulasi platform granit (resistivitas> 10¹³Ω · m) nyegah panyebaran sinar elektron. Digabungake karo drive spindle elektrostatik, entuk nulis pola litografi kanthi tliti dhuwur kanthi jembar garis nano (<10nm).
Ringkesan
Aplikasi platform presisi granit wis ngluwihi saka mesin presisi tradisional menyang lapangan sing canggih kayata nanoteknologi, fisika kuantum, lan biomedis. Daya saing inti dumunung ing kopling jero sifat material lan syarat teknik. Ing mangsa ngarep, kanthi integrasi teknologi penguatan komposit (kayata nanokomposit graphene-granite) lan teknologi sensing cerdas, platform granit bakal nembus arah akurasi tingkat atom, stabilitas kisaran suhu lengkap, lan integrasi multi-fungsi, dadi komponen dhasar inti saka manufaktur ultra-precision sabanjure.
Wektu kirim: Mei-28-2025