Ing peralatan manufaktur semikonduktor lan optoelektronik, granit utamane digunakake.

Ing peralatan manufaktur semikonduktor lan optoelektronik, granit utamane digunakake ing bagean-bagean penting kayata platform gerakan presisi, basis rel pandhuan, struktur dhukungan isolasi getaran, lan substrat instalasi komponen optik. Bagean-bagean kasebut duwe syarat presisi, stabilitas, lan toleransi lingkungan sing dhuwur banget. Karakteristik granit bisa kanthi tepat nyukupi panjaluk ketat industri semikonduktor lan optoelektronik. Ing ngisor iki analisis skenario aplikasi lan kaluwihan tartamtu:
I. Bagean Aplikasi Utama
Platform gerakan presisi (kayata platform wafer kanggo mesin fotolitografi lan mesin pengikat)
Iki digunakake kanggo nggawa komponen presisi kayata wafer lan lensa optik, kanggo nggayuh gerakan translasi lan rotasi kanthi akurasi skala nano.
Piranti khas: meja benda kerja mesin fotolitografi, platform posisi piranti pangukur.
Struktur rangka lan dhasar rel pandhuan
Minangka basis instalasi kanggo pandhuan linier lan pandhuan flotasi udara, iki ndhukung mekanisme gerakan inti peralatan kasebut.
Piranti khas: pigura mekanik saka peralatan kemasan semikonduktor lan instrumen inspeksi optik.
Dhukungan isolasi getaran lan struktur stabilisasi
Iki digunakake kanggo ngisolasi getaran eksternal (kayata getaran saka lantai pabrik utawa sajrone operasi peralatan), njamin stabilitas sistem optik utawa mesin presisi.
Skenario umum: Dhukungan dhasar kanggo mikroskop optik lan interferometer laser.
Substrat pemasangan komponen optik
Ndandani piranti optik kaya ta pangilon, prisma, lan laser kanggo njamin stabilitas jangka panjang saka akurasi alignment sistem jalur optik.
Piranti khas: Piranti kemasan optoelektronik, sistem kopling serat optik.