Ing laboratorium presisi kanggo nggawe chip, ana "pahlawan ing mburi layar" sing katon ora pati penting - basis mesin granit. Aja ngremehake watu iki. Iki minangka kunci kanggo njamin akurasi uji coba wafer sing ora ngrusak! Dina iki, ayo dideleng kepiye carane njaga peralatan deteksi tansah "horizontal lan vertikal".
1. Lair kanthi "gen sing stabil"
Granit dudu watu biasa. Struktur njero kaya "teka-teki gambar mineral" sing rapet. Kuarsa, feldspar, lan kristal liyane disusun rapet, kanthi kapadhetan sing dhuwur banget lan meh ora ana rongga. Iki kaya mbangun omah nganggo beton bertulang, sing padhet lan stabil. Nalika peralatan inspeksi "lungguh" ing ndhuwure, sanajan bobote pirang-pirang ton, deformasi dasar granit bisa diabaikan, mung sepersepuluh saka baja!
Sing luwih nggumunake yaiku meh ora wedi karo owah-owahan suhu. Bahan logam biasa cenderung "ngembang lan nambah bobot" nalika dipanasake lan "nyusut lan dadi luwih tipis" nalika didinginkan. Nanging, granit katon duwe "keajaiban suhu sing tetep". Nalika suhu fluktuasi 1℃, ekspansi lan kontraksi mung sepersewu rambut manungsa. Perlu dicathet yen sanajan ana owah-owahan suhu laboratorium uji coba sing sithik, dhasar granit bisa ndhukung peralatan kanthi kuwat lan nyegah kerataan saka "nyimpang".
Kapindho, teknik pangolahan "rincian setan"
Kanggo nggawe dhasar granit luwih akurat, para insinyur nggunakake "teknologi ireng" kanggo pangolahan. Bayangna poles watu nganggo "amplas super" sing digawe saka berlian - iki cara kerja mesin penggiling limang sumbu. Mesin iki bakal nggiling permukaan granit supaya luwih rata tinimbang pangilon sajrone telung langkah:
Grinding kasar: Kapisan, ilangake cacat ing lumahing watu lan kontrol kerataane nganti seperduapuluh rambut manungsa.
Panggilingan setengah alus: Penyempurnaan luwih lanjut, kanthi tingkat kerataan sing ditambah nganti seperlima puluh rambut manungsa.
Grinding alus: Pungkasanipun, dipoles nganggo bubuk grinding ultra-halus, saengga ratane sepersewu rambut manungsa! Ing titik iki, permukaan dasar granit kaya "tahap horisontal" sing digawe khusus kanggo peralatan inspeksi.
Sawetara dudukan kelas atas uga duwe "otak sing cerdas" - tingkat presisi dhuwur sing wis ana kaya "penjaga cilik" sing tugas 24 jam sedina. Sawise ndeteksi yen peralatan kasebut miring 0,01 derajat (sudut sing luwih cilik tinimbang pucuk pulpen), piranti hidrolik bakal langsung diaktifake lan "melurusake" peralatan sajrone 30 detik.
Katelu, desain sing cerdas luwih ningkatake stabilitas
Para insinyur uga ngrenungake struktur dhasar mesin kasebut. Dhasare digawe kaya sarang tawon heksagonal, kaya sarang tawon, sing ora mung ngurangi bobot nanging uga nyebarake tekanan kanthi rata. Nalika probe deteksi obah ing wafer, deformasi ing saben titik dhasar meh padha persis, njamin referensi horisontal tetep stabil saben wektu.
Sing luwih nggumunake yaiku "peredam kejut sing ora katon" - peredam kejut keramik piezoelektrik - dipasang ing antarane dhasar lan lemah. Piranti iki bisa nangkep macem-macem getaran wiwit saka 1 nganti 1000Hz kaya radar lan langsung ngetokake gelombang mundur kanggo "nglawan" gangguan kasebut. Contone, getaran sing diasilake dening operasi mesin ing jejere utawa goncangan kendaraan sing liwat ing njaba kabeh "ora ana gunane" ing ngarepe.
Data wis nerangake dhewe: Sepira Kuwate Efek kasebut?
Ing aplikasi praktis, kinerja basis granit pancen nggumunake:
Inspeksi optik: Akurasi identifikasi cacat permukaan ing wafer wis ditingkatake saka 3 mikron dadi 1 mikron (1 mikron = seperenam puluh rambut manungsa).
Pengujian ultrasonik: Kesalahan nalika ngukur kekandelan wafer wis suda telung prapat.
Panggunaan jangka panjang: Sawise operasi terus-terusan sajrone setaun, owah-owahan ing tingkatan meh ora ana artine, dene basis mesin biasa wis suwe dadi "mbungkuk".
Saka kaluwihan bahan alami nganti pangolahan sing presisi lan desain inovatif, dhasar granit wis mbuktekake kanthi "kekuatane" yen sampeyan pengin ndeteksi serpihan kanthi akurat, watu iki pancen penting banget!
Wektu kiriman: 18 Juni 2025