Ing bengkel manufaktur semikonduktor, syarat proses manufaktur chip kanggo kondisi lingkungan lan akurasi peralatan iku ekstrem, lan penyimpangan sing sithik bisa nyebabake penurunan sing signifikan ing asil chip. Platform gerakan gantry presisi XYZT gumantung ing komponen granit kanggo kolaborasi karo bagean liya saka platform kanggo mbangun pondasi sing kuwat kanggo entuk akurasi nano.
Sifat pamblokiran getaran sing apik banget
Ing bengkel manufaktur semikonduktor, operasi peralatan periferal lan personel sing mlaku-mlaku bisa nyebabake getaran. Struktur internal komponen granit padhet lan seragam, kanthi karakteristik redaman alami sing dhuwur, kaya "penghalang" getaran sing efisien. Nalika getaran eksternal ditularake menyang platform XYZT, komponen granit bisa kanthi efektif ngurangi luwih saka 80% energi getaran lan nyuda gangguan getaran ing akurasi gerakan platform. Ing wektu sing padha, platform kasebut dilengkapi sistem pandhuan pelampung udara presisi tinggi, sing bisa digunakake bebarengan karo komponen granit. Pandhuan pelampung udara nggunakake film gas stabil sing dibentuk dening gas tekanan tinggi kanggo nggayuh gerakan suspensi tanpa kontak saka bagean platform sing obah lan nyuda getaran cilik sing disebabake dening gesekan mekanik. Bebarengan, loro-lorone njamin akurasi posisi platform tansah dijaga ing tingkat nanometer ing proses utama kayata litografi chip lan etsa, lan nyegah penyimpangan pola sirkuit chip sing disebabake dening getaran.
Stabilitas termal sing apik banget
Fluktuasi suhu lan kelembapan ing bengkel nduweni pengaruh gedhe marang akurasi peralatan manufaktur chip. Koefisien ekspansi termal granit iku sithik banget, umume ing 5-7 ×10⁻⁶/℃, ukurane meh ora owah nalika suhu owah. Sanajan bedane suhu antarane awan lan wengi ing bengkel utawa produksi panas peralatan nyebabake suhu sekitar fluktuasi, komponen granit bisa tetep stabil kanggo nyegah deformasi platform amarga ekspansi lan kontraksi termal. Ing wektu sing padha, sistem kontrol suhu cerdas sing dilengkapi platform ngawasi suhu sekitar kanthi wektu nyata, kanthi otomatis nyetel AC lan peralatan disipasi panas, lan njaga suhu bengkel ing 20 ° C ± 1 ° C. Digabungake karo kaluwihan stabilitas panas granit, mesthekake yen platform ing operasi jangka panjang, akurasi gerakan saben sumbu tansah memenuhi standar presisi nanometer manufaktur chip, kanggo mesthekake yen ukuran pola litografi chip akurat, ambane etsa seragam.
Nyukupi kabutuhan lingkungan sing resik
Bengkel manufaktur semikonduktor kudu njaga tingkat kebersihan sing dhuwur kanggo nyegah partikel bledug ngotori chip. Bahan granit dhewe ora ngasilake bledug, lan permukaane alus, ora gampang nyerep bledug. Platform kasebut sacara sakabehe nggunakake desain struktur sing ditutup kanthi lengkap utawa semi-tutup kanggo nyuda mlebune bledug eksternal. Sistem sirkulasi udara internal dihubungake karo sistem AC bengkel sing resik kanggo mesthekake yen kebersihan udara internal tekan tingkat sing dibutuhake dening manufaktur chip. Ing lingkungan sing resik iki, komponen granit ora bakal mengaruhi kinerja amarga erosi bledug, lan komponen kunci kayata sensor lan motor presisi dhuwur ing platform uga bisa beroperasi kanthi stabil, nyedhiyakake jaminan akurasi nano skala sing terus-terusan lan dipercaya kanggo manufaktur chip, lan mbantu industri semikonduktor pindhah menyang tingkat proses sing luwih dhuwur.
Wektu kiriman: 14-Apr-2025