Ing bengkel manufaktur semikonduktor, syarat proses manufaktur chip kanggo kahanan lingkungan lan akurasi peralatan ekstrem, lan panyimpangan sing sithik bisa nyebabake nyuda asil chip. Platform gerakan gantry presisi XYZT gumantung ing komponen granit kanggo kolaborasi karo bagean platform liyane kanggo mbangun dhasar sing padhet kanggo nggayuh akurasi skala nano.
Sifat pamblokiran geter sing apik banget
Ing bengkel manufaktur semikonduktor, operasi peralatan periferal lan personel sing mlaku-mlaku bisa nyebabake geter. Struktur internal komponen granit kandhel lan seragam, kanthi ciri damping dhuwur alami, kaya "halangan" getaran sing efisien. Nalika getaran eksternal ditularake menyang platform XYZT, komponen granit kanthi efektif bisa nyuda luwih saka 80% energi geter lan nyuda gangguan getaran ing akurasi gerakan platform. Ing wektu sing padha, platform kasebut dilengkapi sistem pandhuan ngambang udara kanthi tliti dhuwur, sing dianggo bebarengan karo komponen granit. Pandhuan ngambang udhara nggunakake film gas stabil sing dibentuk saka gas tekanan dhuwur kanggo nyadari gerakan suspensi tanpa kontak saka bagean obah ing platform lan nyuda getaran cilik sing disebabake gesekan mekanik. Bebarengan, loro mesthekake yen akurasi posisi platform tansah maintained ing tingkat nanometer ing proses tombol kayata chip lithography lan etching, lan supaya panyimpangan saka pola sirkuit chip disebabake geter.
stabilitas termal banget
Fluktuasi suhu lan asor ing bengkel nduweni pengaruh gedhe ing akurasi peralatan manufaktur chip. Koefisien ekspansi termal saka granit sithik banget, umume ing 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ukurane meh ora owah nalika owah-owahan suhu. Malah yen prabédan suhu antarane dina lan wengi ing bengkel utawa produksi panas saka peralatan nimbulaké suhu sekitar kanggo fluctuate, komponen granit bisa tetep stabil kanggo nyegah deformasi saka platform amarga expansion termal lan kontraksi. Ing wektu sing padha, sistem kontrol suhu cerdas dilengkapi platform ngawasi suhu sekitar ing wektu nyata, kanthi otomatis nyetel AC lan peralatan boros panas, lan njogo suhu workshop ing 20 ° C ± 1 ° C. Gabungan karo kaluwihan saka stabilitas panas granit, mesthekake yen platform ing operasi long-term, akurasi gerakan saben sumbu chip tansah mesthekake presisi ukuran chip lan sumbu standar. akurat, ambane etching seragam.
Nyukupi kabutuhan lingkungan sing resik
Toko manufaktur semikonduktor kudu njaga tingkat kebersihan sing dhuwur kanggo nyegah partikel bledug saka kontaminasi chip. Bahan granit dhewe ora ngasilake bledug, lan permukaane alus, ora gampang nyerep bledug. Platform kasebut kanthi wutuh nganggo desain struktur sing ditutup utawa semi-tutup kanggo nyuda entri bledug njaba. Sistem sirkulasi udara internal disambungake karo sistem AC sing resik ing bengkel kanggo mesthekake yen kebersihan udara internal tekan tingkat sing dibutuhake dening manufaktur chip. Ing lingkungan sing resik iki, komponen granit ora bakal mengaruhi kinerja amarga erosi bledug, lan komponen tombol kayata sensor tliti dhuwur lan motor saka platform uga bisa operate stably, nyediakake njamin akurasi nanoscale terus lan dipercaya kanggo Manufaktur chip, lan ngewangi industri semikonduktor kanggo pindhah menyang tingkat proses sing luwih dhuwur.
Wektu kirim: Apr-14-2025