Ing manufaktur semikonduktor, mesin fotolitografi minangka piranti kunci sing nemtokake presisi chip, lan basis granit, kanthi macem-macem karakteristik, wis dadi komponen sing ora bisa dipisahake saka mesin fotolitografi.
Stabilitas termal: "Tameng" nglawan Owah-owahan Suhu
Nalika mesin fotolitografi dioperasikake, mesin iki ngasilake panas sing akeh banget. Sanajan fluktuasi suhu mung 0,1℃ bisa nyebabake deformasi komponen peralatan lan mengaruhi akurasi fotolitografi. Koefisien ekspansi termal granit sithik banget, mung 4-8 ×10⁻⁶/℃, yaiku kira-kira 1/3 saka baja lan 1/5 saka paduan aluminium. Iki ndadekake basis granit bisa njaga stabilitas dimensi nalika mesin fotolitografi dioperasikake sajrone wektu sing suwe utawa nalika suhu lingkungan owah, njamin posisi komponen optik lan struktur mekanik sing tepat.
Kinerja anti-getaran super: "Spons" sing nyerep getaran
Ing pabrik semikonduktor, operasi peralatan ing sakubenge lan obahe wong kabeh bisa ngasilake getaran. Granit nduweni kapadhetan sing dhuwur lan tekstur sing atos, lan nduweni sifat redaman sing apik banget, kanthi rasio redaman 2 nganti 5 kali lipat saka logam. Nalika getaran eksternal ditularake menyang dasar granit, gesekan antarane kristal mineral internal ngowahi energi getaran dadi energi panas kanggo disipasi, sing bisa nyuda getaran kanthi signifikan sajrone wektu sing cendhak, saengga mesin fotolitografi bisa cepet mulihake stabilitas lan nyegah kabur utawa ora selaras pola fotolitografi amarga getaran.
Stabilitas kimia: "Penjaga" Lingkungan sing Bersih
Bagian njero mesin fotolitografi kena macem-macem media kimia, lan bahan logam biasa rentan korosi utawa partikel metu. Granit kasusun saka mineral kayata kuarsa lan feldspar. Granit nduweni sifat kimia sing stabil lan tahan korosi sing kuwat. Sawise direndhem ing larutan asam lan alkali, korosi permukaane cilik banget. Sauntara kuwi, struktur sing padhet meh ora ngasilake lebu utawa bledug, nyukupi syarat standar kamar resik paling dhuwur lan nyuda risiko kontaminasi wafer.
Adaptasi pangolahan: "Materi ideal" kanggo nggawe patokan sing tepat
Komponen inti mesin fotolitografi kudu dipasang ing permukaan referensi presisi dhuwur. Struktur internal granit seragam lan gampang diproses kanthi presisi sing dhuwur banget liwat grinding, polesan, lan teknik liyane. Kerataane bisa tekan ≤0,5μm/m, lan kekasaran permukaan Ra yaiku ≤0,05μm, nyedhiyakake basis instalasi sing tepat kanggo komponen kayata lensa optik.
Umur dawa lan ora butuh perawatan: "Piranti sing landhep" kanggo ngurangi biaya
Dibandhingake karo bahan logam sing gampang lelah lan retak nalika digunakake sajrone wektu sing suwe, granit meh ora ngalami deformasi plastik utawa patah ing beban normal, lan ora mbutuhake perawatan permukaan, saengga nyegah risiko lapisan ngelupas lan kontaminasi. Ing aplikasi praktis, sawise digunakake pirang-pirang taun, indikator kinerja utama saka basis granit isih bisa tetep stabil, nyuda biaya operasi lan perawatan peralatan.
Saka stabilitas termal, tahan getaran nganti inertness kimia, macem-macem karakteristik basis granit kanthi sampurna nyukupi syarat mesin fotolitografi. Nalika proses manufaktur chip terus berkembang menyang presisi sing luwih dhuwur, basis granit bakal terus nduweni peran sing ora bisa diganti ing bidang manufaktur semikonduktor.
Wektu kiriman: 20-Mei-2025