Ing manufaktur semikonduktor, mesin fotolitografi minangka piranti utama sing nemtokake presisi kripik, lan basa granit, kanthi macem-macem ciri, wis dadi komponen penting saka mesin fotolitografi.
Stabilitas termal: "Perisai" nglawan Owah-owahan Suhu
Nalika mesin photolithography lagi operasi, iku njedulake jumlah gedhe saka panas. Malah fluktuasi suhu mung 0.1 ℃ bisa nyebabake deformasi komponen peralatan lan mengaruhi akurasi fotolitografi. Koefisien ekspansi termal granit arang banget, mung 4-8 × 10⁻⁶ / ℃, kira-kira 1/3 saka baja lan 1/5 saka paduan aluminium. Iki mbisakake basa granit kanggo njaga stabilitas dimensi nalika mesin photolithography makaryakke kanggo dangu utawa nalika owah-owahan suhu lingkungan, njupuk posisi pas komponen optik lan struktur mechanical.
Kinerja anti-geter super: "Spons" sing nyerep geter
Ing pabrik semikonduktor, operasi peralatan ing sakubenge lan obahe wong kabeh bisa ngasilake getaran. Granit nduweni kapadhetan dhuwur lan tekstur sing atos, lan nduweni sifat damping sing apik, kanthi rasio redam 2 nganti 5 kaping logam. Nalika getaran eksternal ditularake menyang basa granit, gesekan ing antarane kristal mineral internal ngowahi energi geter dadi energi panas kanggo disipasi, sing bisa nyuda geter kanthi cepet, saéngga mesin fotolitografi bisa cepet mulihake stabilitas lan supaya ora blur utawa misalignment pola fotolitografi amarga geter.
Stabilitas kimia: "Penjaga" Lingkungan sing Resik
Interioré mesin fotolitografi kena kontak karo macem-macem media kimia, lan bahan logam biasa gampang karat utawa ngeculake partikel. Granit kasusun saka mineral kayata kuarsa lan feldspar. Nduwe sifat kimia sing stabil lan tahan karat sing kuwat. Sawise direndhem ing larutan asam lan alkali, korosi permukaan cilik banget. Sauntara kuwi, struktur sing padhet meh ora ngasilake lebu utawa bledug, nyukupi syarat standar kamar resik paling dhuwur lan nyuda risiko kontaminasi wafer.
Kemampuan adaptasi: "Material sing cocog" kanggo nggawe benchmark sing tepat
Komponen inti mesin fotolitografi kudu dipasang ing permukaan referensi kanthi tliti dhuwur. Struktur internal granit seragam lan gampang diproses kanthi presisi sing dhuwur banget liwat grinding, polishing lan teknik liyane. Flatness bisa tekan ≤0.5μm / m, lan kekasaran permukaan Ra ≤0.05μm, nyedhiyakake basis instalasi sing tepat kanggo komponen kayata lensa optik.
Umur dawa lan bebas pangopènan: "Alat sing cetha" kanggo nyuda biaya
Dibandhingake karo bahan logam sing rawan lemes lan retak liwat nggunakake long-term, granit meh ora ngalami deformasi plastik utawa patah ing beban normal, lan ora mbutuhake perawatan lumahing, saéngga ngindhari risiko lapisan peeling lan kontaminasi. Ing aplikasi praktis, sawise digunakake kanggo akèh taun, pratondho kinerja tombol saka basa granit isih bisa tetep stabil, ngurangi biaya operasi lan pangopènan peralatan.
Saka stabilitas termal, resistance geter kanggo inertness kimia, macem-macem ciri saka basa granit sampurna nyukupi syarat saka mesin photolithography. Nalika proses manufaktur chip terus berkembang menyang presisi sing luwih dhuwur, basis granit bakal terus muter peran sing ora bisa diganti ing bidang manufaktur semikonduktor.
Wektu kirim: Mei-20-2025