Ing babagan manufaktur kelas atas lan riset ilmiah mutakhir, modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara wis dadi peralatan utama kanggo operasi lan pangukuran sing apik kanthi kinerja presisi sing apik banget. Basis presisi granit, minangka inti dhukungan, duwe syarat sing ketat kanggo lingkungan kerja, lan kahanan lingkungan sing cocog minangka dhasar kanggo njamin kinerja sing stabil lan efek sing paling apik.
Kapisan, kontrol suhu: "stabilizer" presisi
Senajan granit dikenal amarga stabilitase, nanging ora kebal saka owah-owahan suhu. Sanajan koefisien ekspansi termal kurang, umume 5-7 ×10⁻⁶/℃, ing skenario kontrol gerakan ultra-presisi, fluktuasi suhu sing alus isih bisa nyebabake owah-owahan dimensi lan mengaruhi akurasi modul. Ing bengkel manufaktur chip semikonduktor, proses litografi mbutuhake akurasi posisi tingkat danami, lan suhu sekitar fluktuasi nganti 1°C, lan basis granit kanthi dawa sisih 1 meter bisa ngasilake ekspansi utawa kontraksi linier 5-7 mikron. Owah-owahan cilik iki ditularake dening modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara, sing cukup kanggo nggawe penyimpangan pola litografi chip lan nyuda banget asil. Mulane, dilengkapi karo basis presisi granit saka modul gerakan ultra-presisi udara sing ngambang, suhu lingkungan kerja sing ideal kudu dikontrol ing 20 ° C ± 1 ° C, kanthi bantuan peralatan suhu konstan presisi dhuwur, kayata sistem pendingin udara suhu lan kelembapan konstan, pemantauan terus-terusan lan penyesuaian suhu sekitar, kanggo mesthekake yen fluktuasi suhu ing kisaran sing cilik banget, njaga stabilitas ukuran basis, kanggo mesthekake yen modul operasi presisi dhuwur.
Kapindho, manajemen kelembapan: kunci kanggo "watu" perlindungan tahan lembab
Kelembapan minangka faktor penting liyane sing mengaruhi kinerja basis granit presisi. Ing lingkungan sing lembab banget, granit gampang nyerep uap banyu, sing bisa nyebabake kondensasi ing permukaan, sing ora mung mengaruhi stabilitas sambungan granit lan modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara, nanging uga bisa nyebabake erosi permukaan lan nyuda kilap lan akurasi ing jangka panjang. Ing bengkel penggilingan lensa optik, yen kelembapan luwih dhuwur tinimbang 60% RH sajrone wektu sing suwe, uap banyu sing nyerep ing permukaan basis granit bakal ngganggu gerakan slider pelampung gas, saengga akurasi penggilingan lensa suda, lan permukaan cacat. Mulane, kelembapan relatif lingkungan kerja kudu dikontrol kanthi ketat antarane 40%-60% RH, sing bisa dipantau lan diatur kanthi wektu nyata kanthi masang dehumidifier, sensor kelembapan, lan peralatan liyane kanggo nyegah kerusakan ing basis granit amarga kelembapan sing dhuwur, lan njamin operasi modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara sing lancar.
Katelu, jaminan kebersihan: "penjaga" presisi
Kerusakan partikel bledug marang dhasar granit presisi saka modul gerakan ultra-presisi saka flotasi udara ora bisa diremehake. Sawise partikel cilik mlebu ing celah film gas antarane slider pelampung gas lan dhasar granit, bisa ngrusak keseragaman film gas, nambah gesekan, lan malah ngeruk permukaan dhasar, sing nyebabake akurasi gerakan mudhun. Ing bengkel mesin ultra-presisi bagean aerospace, yen partikel bledug ing udara tiba ing dhasar granit, lintasan gerakan alat mesin bisa uga nyimpang, sing mengaruhi akurasi mesin bagean kasebut. Mulane, area kerja kudu dijaga supaya tetep resik, tekan 10.000 utawa malah luwih standar kebersihan, liwat instalasi peralatan pemurnian udara, kayata filter udara efisiensi dhuwur (HEPA), nyaring partikel bledug ing udara, ing wektu sing padha, staf kudu nganggo sandhangan bebas bledug, tutup sepatu, lan liya-liyane, kanggo nyuda bledug sing digawa dening manungsa. Njaga lingkungan operasi presisi dhuwur saka dhasar granit lan modul gerakan ultra-presisi pelampung udara.
Papat, isolasi getaran: operasi "shock pad" sing lancar
Getaran njaba minangka mungsuh saka presisi modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara. Sanajan basis granit presisi duwe kemampuan atenuasi getaran tartamtu, getaran kekuatan dhuwur isih bisa ngluwihi wates penyangga. Getaran sing diasilake dening lalu lintas ing sekitar pabrik lan operasi peralatan mekanik gedhe ditularake menyang basis granit liwat lemah, sing bakal ngganggu akurasi gerakan modul gerakan ultra-presisi saka pelampung udara. Ing CMM kelas atas, getaran bisa nyebabake kontak antarane probe pangukur lan benda kerja sing diukur dadi ora stabil, sing nyebabake penyimpangan data pangukuran. Kanggo ngatasi masalah iki, perlu nggunakake langkah-langkah isolasi getaran sing efektif, kayata masang bantalan isolasi getaran ing area instalasi peralatan, mbangun pondasi isolasi getaran, utawa nggunakake sistem isolasi getaran aktif kanggo ngimbangi getaran eksternal kanthi aktif, lan nggawe lingkungan kerja sing sepi lan stabil kanggo basis presisi granit lan modul gerakan ultra-presisi pelampung udara.
Mung kanthi nyukupi syarat lingkungan babagan suhu, kelembapan, kebersihan, lan kontrol getaran, basis presisi granit saka modul gerakan ultra-presisi pelampung udara bisa menehi kinerja lengkap kanggo kaluwihan kinerja, nyedhiyakake jaminan sing bisa dipercaya kanggo operasi ultra-presisi ing macem-macem bidang, lan mbantu industri kanggo pindhah menyang manufaktur presisi sing luwih dhuwur lan tingkat riset ilmiah.
Wektu kiriman: 08-Apr-2025