Ing bidang manufaktur presisi lan riset ilmiah, flatness platform presisi granit minangka indikator utama kanggo njamin akurasi peralatan. Ing ngisor iki minangka introduksi rinci babagan sawetara metode deteksi arus utama lan prosedur operasi kanggo sampeyan. |
I. Metode Deteksi interferometer laser
Interferometer laser minangka alat sing disenengi kanggo deteksi flatness kanthi tliti dhuwur. Njupuk interferometer laser ZYGO GPI XP minangka conto, resolusi bisa tekan 0.1nm. Nalika nindakake deteksi, pisanan kempal sumber cahya saka interferometer karo platform lan dibagi lumahing platform menyang 50mm × 50mm wilayah kothak. Salajengipun, data pinggiran interferensi diklumpukake titik demi titik, lan data kasebut dipasang lan dianalisis nggunakake polinomial Zernike kanggo entuk kesalahan flatness. Cara iki ditrapake kanggo platform tliti dhuwur lan bisa ndeteksi kesalahan flatness ≤0.5μm/m². Biasane digunakake ing deteksi mesin fotolitografi lan platform mesin ukuran koordinat telu dhuwur. |
Ii. Metode Array Level Elektronik
Deteksi susunan tingkat elektronik gampang dioperasikake lan efisien banget. Tingkat elektronik TESA A2 (kanthi resolusi 0,01μm / m) dipilih lan disusun ing susunan 9 × 9 ing arah sumbu X / Y saka platform. Kanthi ngumpulake data kecenderungan saben level kanthi sinkron banjur nggunakake metode kuadrat paling sithik kanggo pitungan, nilai flatness bisa dipikolehi kanthi akurat. Cara iki bisa kanthi efektif ngenali kondisi concavity lan convexity saka platform. Contone, fluktuasi 0.2μm ing kisaran 50mm uga bisa dideteksi, sing cocok kanggo deteksi kanthi cepet ing produksi massal. |
Iii. Metode Optical Flat Crystal
Cara kristal warata optik cocok kanggo deteksi platform area cilik. Pasang kristal warata optik kanthi kenceng menyang permukaan sing bakal diuji ing platform lan deleng pinggiran interferensi sing dibentuk ing antarane ana ing iluminasi sumber cahya monokromatik (kayata lampu sodium). Yen loreng kasebut minangka garis lurus sing sejajar, iki nuduhake kerataan sing apik. Yen belang mlengkung katon, ngetung kesalahan flatness adhedhasar derajat kelengkungan belang. Saben belang mlengkung nggantosi prabédan dhuwur saka 0.316μm, lan data flatness bisa dijupuk liwat konversi prasaja. |
Papat. Metode Inspeksi Mesin Pengukur Tiga Koordinat
Mesin pangukuran telung koordinat bisa entuk pangukuran kanthi tliti dhuwur ing ruang telung dimensi. Selehake platform granit ing meja kerja mesin ukur lan gunakake probe kanggo ngumpulake data kanthi seragam saka macem-macem titik pangukuran ing permukaan platform. Sistem mesin pangukuran ngolah lan nganalisa data kasebut kanggo ngasilake laporan flatness saka platform. Cara iki ora mung bisa ndeteksi flatness, nanging uga diwenehi paramèter geometris platform bebarengan, lan cocok kanggo deteksi lengkap saka platform granit gedhe. |
Nguwasani cara deteksi iki bisa mbantu sampeyan kanthi akurat netepake flatness platform presisi granit lan menehi jaminan sing bisa dipercaya kanggo operasi peralatan presisi sing stabil.
Wektu kirim: Mei-29-2025