Revolusi Presisi ing manufaktur semikonduktor: Nalika granit ketemu teknologi mikron
1.1 Panemuan sing ora dikarepke ing ilmu material
Miturut laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI 2023, 63% pabrik canggih ing donya wis wiwit nggunakake basis granit tinimbang platform logam tradisional. Watu alam iki, sing asale saka kondensasi magma sing jero ing Bumi, nulis ulang sejarah manufaktur semikonduktor amarga sifat fisik sing unik:
Kauntungan inersia termal: koefisien ekspansi termal granit 4,5 × 10⁻⁶/℃ mung 1/5 saka baja tahan karat, lan stabilitas dimensi ± 0,001mm dijaga ing karya mesin litografi sing terus-terusan.
Karakteristik redaman getaran: koefisien gesekan internal 15 kali luwih dhuwur tinimbang wesi cor, kanthi efektif nyerep getaran mikro peralatan
Sifat magnetisasi nol: ngilangi kesalahan magnetik ing pangukuran laser kanthi lengkap
1.2 Lelampahan metamorfosis saka tambang dadi fab
Njupuk basis produksi cerdas ZHHIMG ing Shandong minangka conto, potongan granit mentah kudu ngalami:
Mesin ultra-presisi: pusat mesin linkage limang sumbu kanggo 200 jam panggilingan terus-terusan, kekasaran permukaan nganti Ra0.008μm
Perawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan stres alami ing bengkel suhu lan kelembapan konstan, sing nambah stabilitas produk nganti 40%
Kapindho, ngrampungake enem masalah presisi manufaktur semikonduktor "solusi watu"
2.1 Skema pangurangan tingkat fragmentasi wafer
Demonstrasi kasus: Sawise pabrik pengecoran chip ing Jerman nggunakake platform granit ngambang gas kita:
| Diameter wafer | pangurangan tingkat chip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inci | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skema terobosan akurasi perataan litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik sing dipasang ngawasi variabel bentuk kanthi wektu nyata lan kanthi otomatis nyetel kemiringan platform
Data sing diukur: ing fluktuasi 28 ℃ ± 5 ℃, akurasi penyematan fluktuasi kurang saka 0,12μm
Wektu kiriman: 24 Maret 2025