Revolusi Presisi ing manufaktur semikonduktor: Nalika granit ketemu teknologi micron
1.1 Panemuan sing ora dikarepake ing ilmu material
Miturut laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI 2023, 63% pabrik canggih ing donya wis wiwit nggunakake basa granit tinimbang platform logam tradisional. Watu alam iki, sing asalé saka kondensasi magma ing jero Bumi, nulis ulang sajarah manufaktur semikonduktor amarga sifat fisik sing unik:
Kauntungan inersia termal: koefisien ekspansi termal saka granit 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ mung 1/5 saka stainless steel, lan stabilitas dimensi ± 0.001mm dijaga ing karya terus-terusan mesin litografi.
Karakteristik damping geter: koefisien gesekan internal 15 kaping luwih dhuwur tinimbang wesi tuang, kanthi efektif nyerep getaran mikro peralatan.
Sifat magnetisasi nol: ngilangi kesalahan magnetik ing pangukuran laser
1.2 Perjalanan metamorfosis saka tambang menyang fab
Njupuk basis produksi cerdas ZHHIMG ing Shandong minangka conto, sepotong granit mentah kudu ngalami:
Mesin ultra-presisi: pusat mesin linkage limang sumbu kanggo 200 jam penggilingan terus-terusan, kekasaran permukaan nganti Ra0.008μm
Perawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan stres alami ing bengkel suhu lan kelembapan sing tetep, sing nambah stabilitas produk kanthi 40%
Kapindho, retak enem masalah presisi manufaktur semikonduktor "solusi rock"
2.1 Skema pengurangan tingkat fragmentasi wafer
Demonstrasi kasus: Sawise pengecoran chip ing Jerman nganggo platform granit ngambang gas:
| Diameter wafer | pangurangan tingkat chip | dandan flatness |
| 12 inchi | 67% | ≤0.001mm |
| 18 ing | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Skema terobosan akurasi keselarasan litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik sing dipasang ngawasi variabel bentuk ing wektu nyata lan kanthi otomatis nyetel inclination platform
Data sing diukur: ing fluktuasi 28 ℃ ± 5 ℃, akurasi semat fluktuasi kurang saka 0.12μm
Wektu kirim: Mar-24-2025