Dibandhingake karo alat ukur logam lan alat ukur marmer, alat ukur keramik duwe kaku sing dhuwur, kekerasan dhuwur, kapadhetan dhuwur, ekspansi termal sing kurang, lan defleksi cilik sing disebabake bobote dhewe, sing nduweni resistensi nyandhang sing apik.Wis atose dhuwur lan resistance nyandhang banget.Amarga koefisien ekspansi termal cilik, deformasi sing disebabake owah-owahan suhu cilik, lan ora gampang kena pengaruh lingkungan pangukuran.Stabilitas dhuwur minangka pilihan sing paling apik kanggo ukuran ultra-tliti.