♦Alumina(Al2O3)
Onderdil keramik presisi sing diprodhuksi dening ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) bisa digawe saka bahan mentah keramik kemurnian tinggi, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, lan pengepresan isostatik adhem CIP. Sintering suhu dhuwur lan mesin presisi, akurasi dimensi ± 0,001mm, kehalusan nganti Ra0,1, nggunakake suhu nganti 1600 derajat. Werna keramik sing beda-beda bisa digawe miturut kabutuhan pelanggan, kayata: ireng, putih, krem, abang peteng, lan liya-liyane. Onderdil keramik presisi sing diprodhuksi dening perusahaan kita tahan suhu dhuwur, korosi, aus lan insulasi, lan bisa digunakake kanggo wektu sing suwe ing lingkungan suhu dhuwur, vakum lan gas korosif.
Digunakake sacara wiyar ing macem-macem peralatan produksi semikonduktor: Rangka (braket keramik), Substrat (basis), Lengan/Jembatan (manipulator), Komponen Mekanik lan Bantalan Udara Keramik.
| Jeneng Produk | Tabung/Pipa/Batang Keramik Alumina 99 Kemurnian Tinggi | |||||
| Indeks | Unit | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Kapadhetan | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan Banyu | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Suhu Sinter | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuwatan Lentur (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuwatan Kompresi | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu Kerja Wektu Suwe | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Suhu Kerja Maks. | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistivitas Volume | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Aplikasi keramik alumina kemurnian tinggi:
1. Ditrapake ing peralatan semikonduktor: chuck vakum keramik, cakram pemotong, cakram pembersih, CUCK keramik.
2. Onderdil transfer wafer: chuck penanganan wafer, cakram pemotong wafer, cakram pembersih wafer, cangkir hisap inspeksi optik wafer.
3. Industri tampilan panel datar LED / LCD: nozzle keramik, cakram gerinda keramik, PIN PENGANGKAT, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri surya: tabung keramik, batang keramik, scraper keramik sablon papan sirkuit.
5. Bagean sing tahan panas lan insulasi listrik: bantalan keramik.
Saiki, keramik aluminium oksida bisa dipérang dadi keramik kemurnian dhuwur lan keramik umum. Seri keramik aluminium oksida kemurnian dhuwur nuduhake bahan keramik sing ngandhut luwih saka 99,9% Al₂O₃. Amarga suhu sintering nganti 1650 - 1990°C lan dawa gelombang transmisi 1 ~ 6μm, biasane diolah dadi kaca leburan tinimbang wadah platinum: sing bisa digunakake minangka tabung natrium amarga transmitansi cahya lan tahan korosi marang logam alkali. Ing industri elektronik, bisa digunakake minangka bahan insulasi frekuensi dhuwur kanggo substrat IC. Miturut isi aluminium oksida sing beda-beda, seri keramik aluminium oksida umum bisa dipérang dadi 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik lan 85 keramik. Kadhangkala, keramik kanthi 80% utawa 75% aluminium oksida uga diklasifikasikake minangka seri keramik aluminium oksida umum. Antarane, bahan keramik aluminium oksida 99 digunakake kanggo ngasilake wadah suhu dhuwur, tabung tungku tahan api lan bahan tahan aus khusus, kayata bantalan keramik, segel keramik lan pelat katup. Keramik aluminium 95 utamane digunakake minangka bagean tahan aus sing tahan korosi. Keramik 85 asring dicampur ing sawetara sifat, saengga ningkatake kinerja listrik lan kekuatan mekanik. Bisa nggunakake molibdenum, niobium, tantalum lan segel logam liyane, lan sawetara digunakake minangka piranti vakum listrik.
| Barang Berkualitas (Nilai Representatif) | Jeneng Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi Kimia Produk Sintering Gampang Natrium Rendah | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diameter Partikel Sedheng (MT-3300, metode analisis laser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Ukuran Kristal α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Kapadhetan Pembentukan** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Kapadhetan Sintering** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Laju Penyusutan Jalur Sintering** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ora kalebu ing itungan kemurnian Al₂O₃.
* Tanpa bubuk kerak 29.4MPa (300kg/cm²), suhu sintering 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambah 0,05 ~ 0,1% MgO, sinterabilitase apik banget, mula bisa ditrapake kanggo keramik aluminium oksida kanthi kemurnian luwih saka 99%.
AES-22S: Ditandhani kanthi kapadhetan pembentukan sing dhuwur lan tingkat penyusutan garis sintering sing endhek, iki bisa ditrapake kanggo pengecoran bentuk slip lan produk skala gedhe liyane kanthi akurasi dimensi sing dibutuhake.
AES-23 / AES-31-03: Iki nduweni kapadhetan mbentuk sing luwih dhuwur, tiksotropi lan viskositas sing luwih endhek tinimbang AES-22S. Sing pertama digunakake kanggo keramik dene sing terakhir digunakake minangka peredam banyu kanggo bahan tahan geni, saengga saya populer.
♦Karakteristik Silikon Karbida (SiC)
| Karakteristik Umum | Kemurnian komponen utama (wt%) | 97 | |
| Werna | Ireng | ||
| Kapadhetan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Panyerepan banyu (%) | 0 | ||
| Karakteristik Mekanik | Kekuwatan lentur (MPa) | 400 | |
| Modulus enom (GPa) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (GPa) | 20 | ||
| Karakteristik Termal | Suhu operasi maksimal (°C) | 1600 | |
| Koefisien ekspansi termal | RT ~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT ~800°C | 4.3 | |
| Konduktivitas termal (W/m x K) | 130 110 | ||
| Tahan kejut termal ΔT (°C) | 300 | ||
| Karakteristik Listrik | Resistivitas volume | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Konstanta dielektrik | 10GHz | - | |
| Mundhut dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Faktor Q (x 104) | - | ||
| Tegangan kerusakan dielektrik (KV/mm) | - | ||
♦Keramik Silikon Nitrida
| Bahan | Unit | Si₃N₄ |
| Metode Sintering | - | Tekanan Gas sing Disinter |
| Kapadhetan | g/cm³ | 3.22 |
| Werna | - | Abu-abu Peteng |
| Tingkat Penyerapan Banyu | % | 0 |
| Modulus Enom | IPK | 290 |
| Kekerasan Vickers | IPK | 18 - 20 |
| Kekuwatan Kompresi | Mpa | 2200 |
| Kekuwatan Lentur | Mpa | 650 |
| Konduktivitas Termal | W/mK | 25 |
| Tahan Kejutan Termal | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Suhu Operasi Maksimum | °C | 1200 |
| Resistivitas Volume | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Konstanta Dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuwatan Dielektrik | kV/mm | 16 |