Ing babagan manufaktur presisi lan riset ilmiah, kerataan platform presisi granit minangka indikator kunci kanggo njamin akurasi peralatan. Ing ngisor iki minangka pambuka rinci babagan sawetara metode deteksi umum lan prosedur operasine kanggo sampeyan.
I. Cara Deteksi Interferometer Laser
Interferometer laser minangka piranti sing disenengi kanggo deteksi kerataan presisi dhuwur. Umpamane, interferometer laser ZYGO GPI XP, resolusine bisa tekan 0,1 nm. Nalika nindakake deteksi, sejajarake sumber cahya interferometer karo platform lan bagi permukaan platform dadi area kisi 50 mm × 50 mm. Sabanjure, data pinggiran interferensi dikumpulake titik demi titik, lan data kasebut dipasang lan dianalisis nggunakake polinomial Zernike kanggo entuk kesalahan kerataan. Cara iki ditrapake kanggo platform presisi dhuwur lan bisa ndeteksi kesalahan kerataan ≤0,5 μm / m². Iki umume digunakake ing deteksi mesin fotolitografi lan platform mesin pangukur telung koordinat kelas atas.
II. Metode Array Tingkat Elektronik
Deteksi susunan level elektronik iki gampang dioperasikake lan efisien banget. Tingkat elektronik TESA A2 (kanthi resolusi 0,01μm/m) dipilih lan disusun ing susunan 9×9 ing sadawane arah sumbu X/Y platform. Kanthi ngumpulake data kemiringan saben level kanthi sinkron banjur nggunakake metode kuadrat paling cilik kanggo pitungan, nilai kerataan bisa dipikolehi kanthi akurat. Metode iki bisa kanthi efektif ngenali kondisi cekung lan konveksitas lokal platform. Contone, fluktuasi 0,2μm ing kisaran 50mm uga bisa dideteksi, sing cocog kanggo deteksi cepet ing produksi massal.
Iii. Metode Kristal Datar Optik
Metode kristal datar optik cocok kanggo ndeteksi platform area cilik. Tempelake kristal datar optik kanthi kenceng menyang permukaan sing bakal diuji ing platform lan amati pinggiran interferensi sing kawangun ing antarane ing sangisore cahya sumber cahya monokromatik (kayata lampu natrium). Yen garis-garis kasebut minangka garis lurus sejajar, iki nuduhake kerataan sing apik. Yen garis-garis mlengkung katon, itung kesalahan kerataan adhedhasar tingkat kelengkungan garis. Saben garis mlengkung nggambarake bedane dhuwur 0,316 μm, lan data kerataan bisa dipikolehi liwat konversi prasaja.
Papat. Mesin pangukur telung koordinat Cara inspeksi
Mesin pangukur telung koordinat iki bisa entuk pangukuran presisi dhuwur ing ruang telung dimensi. Selehake platform granit ing meja kerja mesin pangukur lan gunakake probe kanggo ngumpulake data kanthi seragam saka pirang-pirang titik pangukuran ing permukaan platform. Sistem mesin pangukur ngolah lan nganalisis data kasebut kanggo ngasilake laporan kerataan platform. Cara iki ora mung bisa ndeteksi kerataan, nanging uga entuk parameter geometris platform liyane kanthi bebarengan, lan cocok kanggo deteksi platform granit gedhe kanthi lengkap.
Nguwasani metode deteksi iki bisa mbantu sampeyan kanthi akurat netepke kerataan platform presisi granit lan menehi jaminan sing bisa dipercaya kanggo operasi peralatan presisi sing stabil.
Wektu kiriman: 29 Mei 2025